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半导体晶圆级转塔式芯片测试分选机(日本原图)和手册
首页 >半导体设备图纸 >先进封装:固晶-焊线-TCB 2026-06-09 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
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图纸描述

一款来自日本公司原图,包括赠送500多页的详细手册和技术说明等资料!图纸可以编辑有参数!为业界成熟设备!典型产能 40–60K UPH,定位精度 ±2–5μm,适配 7nm 及以下制程芯片。集成上料、检测、测试、分拣、编带于一体的主流后段设备。

核心应用环节:先进封装后道

它主要部署在晶圆切割后(Die Sorting)、终测(FT)前 / 中,完成从扩膜晶圆到编带 / 托盘成品的全流程处理,是连接晶圆制造与终端应用的关键节点。

  • CP 测试后:接收已完成晶圆级电性测试的芯片,根据测试结果分级、剔除不良品。

  • 终测 / 外观检测:集成多工位并行检测,完成凸点、侧壁、表面缺陷的全检。

  • 成品包装:将分级后的芯片按客户要求编入载带或装入托盘,直接发往下游组装。

这是一款面向先进封装后段的全自动高速芯片分选设备,核心是通过水平转塔 + 多工位并行架构,实现从晶圆扩膜芯片到编带 / 托盘成品的全流程处理,是 WLCSP、Fan-out 等先进封装的关键设备。

架构原理和关键模块与功能解析:以中心DD 直驱马达驱动转塔旋转,转塔上的吸嘴(16–32 个)随转塔同步流转,每个工位独立完成一道工序,实现并行处理。核心模块可分为五大系统:

系统类别关键单元核心功能
晶圆上料系统Cassette Loading Elevator、Input Wafer Table、Input Frame Transfer实现晶圆 / 扩膜框架的自动上料、定位与传输,是设备的 “原料入口”。
转塔核心系统Turret Pick-up System多工位转塔是设备的心脏,负责芯片的高速搬运与工位流转,决定设备产能上限。
高精度校正模块Vision Guided Die Rotation & XY Position Correction、De-taper通过视觉引导完成芯片的 XYθ 纠偏和锥度校正,确保后续工位的微米级精度。
多维度视觉检测系统Bump Vision、Side Wall Vision(可选 IR 红外)、Flipper Vision、Pocket Position Vision、Post-seal Vision覆盖芯片凸点、侧壁、表面、编带 Pocket 等全维度缺陷检测,红外视觉可穿透薄胶层检查内部缺陷。
成品出料系统Primary Tape & Reel Module将合格芯片按等级编入载带,完成包装,是设备的 “成品出口”。

完整处理流程

  1. 上料与扩膜:晶圆从料盒送入,经扩膜机撑开晶粒间距,便于转塔吸嘴拾取。

  2. 拾取与纠偏:转塔吸嘴从扩膜晶圆上吸取芯片,经视觉系统完成 XYθ 定位校正。

  3. 多工位并行处理:转塔旋转,依次将芯片送入不同工位,同步完成:

  • 凸点 / 侧壁 / 表面缺陷检测

  • 电性测试(部分机型集成)

  • 激光打标(批号 / 等级)

分拣与包装:根据检测结果,将不同等级的芯片送入对应编带模组,完成分选与编带包装。

核心技术亮点与关键参数

1. 核心技术亮点

  • 全链路视觉检测:支持 Bump、Sidewall、Pocket、Post-seal 等多工位并行检测,可选红外(IR)视觉,适配先进封装芯片的隐蔽缺陷检测需求。

  • 高精密力控技术:吸嘴采用音圈电机直驱 + 闭环力控,接触压力可调至 5–20g,防止超薄芯片崩片 / 隐裂。

  • 水平转塔架构:相比传统平移式分选机,产能可达50K+ UPH,同时保持微米级定位精度。

参数典型指标
工位数量16–32(晶圆级)
产能(UPH)40–60K
定位精度±2–5μm(XY),±1–2μm(θ)
适用芯片尺寸0.2×0.4mm ~ 7×7mm
适用晶圆尺寸6/8/12 英寸
检测功能凸点 / 侧壁 / 表面 / 编带缺陷检测(可选 IR)


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图纸信息
图纸ID :287
文件大小:623.86M
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图纸参数:可编辑,包含特征参数
图纸格式:sldprt、sldasm
软件版本:2025
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用户XY0cKu
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1 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/MI-WAFER HANDLER Mi30 User Manual V5.pdf 35.65M
2 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/Mi40 28062019 (2).m2ts 243.58M
3 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/Mi40 Machine Introduction_Jan 2019.pdf 454.94K
4 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com03-mis-SAIPOZ3-10.SLDPRT 113.81K
5 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com03-mis-SAIPOZ3-20.SLDPRT 107.99K
6 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com05-铝条-L100.SLDPRT 112.31K
7 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com06-铝条-L50.SLDPRT 105.52K
8 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com08-高度传感器放大器.SLDASM 163.72K
9 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com1-8堵头.SLDPRT 82.41K
10 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com12inch-jig1.SLDASM 138.89K
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29 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com3516镜头.sldprt 75.5K
30 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com3518.sldprt 794.5K
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81 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comDD马达 大族激光 EQD0330180A-无框电机.SLDPRT 346.25K
82 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comDD马达 日机 ND180-95-LS(ABS).SLDPRT 661.62K
83 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comDD马达 雅克贝斯 ADR175-P-72-P.SLDPRT 264.05K
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92 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comFU-57TZ.SLDPRT 118.96K
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94 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHTBN201S3M-100.SLDPRT 82.3K
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96 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHTPA22S3M100-K-P8.SLDASM 174.79K
97 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHTPA24S3M060-A-P5.SLDASM 183.25K
98 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHTPA24S3M060-A-P8.SLDASM 158.86K
99 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-03-吸嘴有无料检测.SLDASM 99.47K
100 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-05-key_fu-57tz.SLDPRT 72.63K
101 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-05-key_fu-57tz_投光側.SLDASM 79.7K
102 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-05-_key_fu-57tz_受光側.SLDASM 81.08K
103 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-05-吸嘴高度检测.SLDASM 81.77K
104 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-06-Z模组安装座.SLDASM 175.34K
105 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-06_吸着治具.SLDASM 117.9K
106 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-06_模组部.SLDASM 491.05K
107 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-06_活塞部.SLDASM 138.99K
108 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-06_顶针治具.SLDASM 81.87K
109 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-08-压膜涨紧轮.SLDASM 187.79K
110 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23001-08-基准.SLDPRT 46.5K
111 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-001A.SLDPRT 161.33K
112 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-002A.SLDPRT 224.06K
113 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-003A.SLDPRT 171.12K
114 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-005A.SLDPRT 169.25K
115 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-006A.SLDPRT 169.92K
116 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-007A.SLDPRT 123.53K
117 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-008A.SLDPRT 143.25K
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120 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-014A.SLDPRT 75.67K
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123 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-020A.SLDPRT 104.17K
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126 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.comHX23002-03-045A.SLDPRT 228.41K
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1065 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com丝杆模组 TOYO GTH4-L12-50-BC-Y05-C3(安川100w).SLDPRT 1.25M
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1069 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com传感器 明治 MP2-410-WD.SLDPRT 137.81K
1070 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com传感器 松下 pm-y45.SLDPRT 107.76K
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1072 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com光栅尺安装座-3D model_ ATOM Top Mount Applicator.SLDPRT 169.35K
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1075 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com六角支柱 MIS PLSBWF12-65-LKC.SLDPRT 68.08K
1076 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com六角支柱 MIS PLSBWF7-115.SLDPRT 64.97K
1077 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com六角支柱 MIS PLSBWF7-20.5.SLDPRT 71.51K
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1095 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com同步轮 MIS HTPK15S3M060-K-P5.SLDPRT 265.48K
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1123 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2L12-03AS.SLDPRT 141.88K
1124 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2S04-M5A.SLDPRT 73.75K
1125 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2S06-M5A.SLDPRT 73.33K
1126 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2T08-06A.SLDPRT 111.13K
1127 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2U04-00A.SLDPRT 99.29K
1128 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC KQ2U04-06A.SLDPRT 98.62K
1129 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com快速接头 SMC M-3ALU-4.SLDPRT 130.1K
1130 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com惰轮 MIS AGTFW24-GT3090-6.SLDPRT 320.2K
1131 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com惰轮 MIS AHTFW24-S3M060-5.SLDPRT 395.24K
1132 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拉伸弹簧 mis AUY5-15.SLDPRT 118.94K
1133 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拉钩1.SLDPRT 11.22M
1134 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拖链头 YHD VDX11-1540-002.SLDPRT 263.01K
1135 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拖链头 YHD VDX11-1540_001.SLDPRT 250.4K
1136 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拖链头 YHD VDX11-2247-002.SLDPRT 280.63K
1137 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com拖链头 YHD VDX11-2247_001.SLDPRT 279.44K
1138 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com排气节流 SMC AS1201F-M5-04A.sldprt 115.73K
1139 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com排气节流 SMC AS1201F-M5-06A.sldprt 115.17K
1140 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com排气节流阀 SMC AS1201F-M5-04A.SLDPRT 118.47K
1141 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com接圈20mm_15.sldprt 56K
1142 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com接圈_10.sldprt 56.5K
1143 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com搭扣 MIS PKWS1.SLDPRT 129.95K
1144 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com旋转矫正1.SLDASM 1.88M
1145 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com旋转矫正1.SLDPRT 4.61M
1146 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com无油衬套 MIS BFLB5-5.SLDPRT 66.57K
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1148 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com松下-pm-l25.SLDPRT 81.33K
1149 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com松下pm-l25.SLDPRT 126.82K
1150 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com极软管-SMC-1.SLDPRT 137.16K
1151 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com极软管-SMC-2.SLDPRT 115.63K
1152 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com标准jedec tray(37.5×37.5).SLDPRT 631.94K
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1154 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com棱镜压板-1.sldprt 64.5K
1155 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com棱镜压板.sldprt 64.5K
1156 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com模型01.SLDPRT 159.32K
1157 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com橡胶吸盘 MIS RBTR2.5.SLDPRT 90.3K
1158 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com气缸 SMC MXS12-40BSAT-M9NV.SLDPRT 565.38K
1159 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com洗笔1.SLDPRT 595.07K
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1172 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com相机-MSBR-1.SLDPRT 1.52M
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1176 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com真空过滤器 MIS VFS6.SLDPRT 233.39K
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1180 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com视野20.4×16.3.sldprt 57K
1181 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com软管1 SMC.SLDPRT 92.58K
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1183 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com轴承 BAL675ZZ.SLDPRT 620.07K
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1192 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com销轴5x60.SLDPRT 60.48K
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1204 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com雅克倍思-STANDARD COIL, AUM4-S4_REV01.SLDPRT 88.46K
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1208 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/www.semimodel.com驱动器.SLDPRT 68.73K
1209 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/半导体设备图纸更多下载www.semimodel.com - 副本 - 副本 - 副本.pdf 290.75K
1210 软件图标9 晶圆级转塔式芯片分选机(Turret Die Sorter)/砖塔.pdf 1.04M
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