AA 主动对准:器件通电,实时读取光功率,六轴平台寻找到光功率极大点后固化锁紧;是 800G‑1.6T COB、BOX、硅光 PIC 模块的核心瓶颈设备,占整条封装产线价值 35‑40%。
| 项目 | 800G 量产 | 1.6T(硅光 / COB) | 说明 |
|---|---|---|---|
| 运动自由度 | 6 轴(X/Y/Z+θx/θy/θz) | 6 轴双六轴(双工位) | 平移 + 三维角度微调 |
| X/Y/Z 重复定位 | ±0.1 μm | ±0.05 μm(50 nm) | 直线电机,大理石底座 + 气浮减震 |
| 角度重复定位 | ±0.005° | ±0.003° | 角度偏移直接带来耦合损耗 |
| 最小运动步距 | 10 nm | 1‑5 nm | 寻光收敛粒度 |
| 耦合重复性损耗 | ≤0.3 dB | ≤0.2 dB | 多通道 FA 阵列关键指标 |
| 单通道耦合节拍 | 40‑60 s | 60‑120 s;双 FA 同步可缩短至 45‑70 s | 双 FA 同步 TX/RX 同时耦合,效率 + 50% |
| 固化方式 | UV 胶固化 / 激光焊接 | UV 胶固化为主;气密 BOX 用激光焊接 | UV 无热冲击;激光焊接适合气密封装 |
| 支持光路 | COB 透镜、单 FA、双 FA、Lens‑to‑Chip、光栅耦合 | 多通道 FA 阵列、双透镜、硅光端面耦合 | 1.6T 大量 8/16 通道 FA 阵列耦合 |
UV 点胶‑UV 固化耦合(800G‑1.6T COB / 硅光主流)对准最优位置后点 UV 胶,LED‑UV 紫外照射固化;无热应力,适合 COB 裸芯片、硅光 PIC;风险点:胶水收缩带来后固化偏移,设备算法需要做预偏移补偿。
激光焊接 AA 耦合(BOX 气密器件)对准完成后脉冲激光点焊金属套筒;机械强度高、气密,无胶水蠕变;缺点:焊接热应力会造成光路微偏移,设备必须做焊接偏移闭环补偿,主要用于 TO‑CAN、BOX 激光器,硅光少用。
1.6T 硅光绝大多数采用:AA 主动对准 + UV 胶固化。
六轴精密运动平台:直线电机 + 气浮减震,大理石基座,抑制外界振动(振动会直接导致耦合良率跳水)。
上下视觉系统:上相机看器件,下相机看光纤阵列 FA,预定位;不是最终对准,预定位减少寻光搜索范围。
光功率实时采集模块:高速光电探测器,毫秒级采样,给寻优算法反馈。
AA 寻优算法(软件核心)
粗搜→爬山算法精搜→极大值锁定;
1.6T 多通道 FA 必须做多通道联合寻优,不能单通道独立调,否则通道间损耗不均衡。
精密点胶 + UV 固化模组:微量点胶,控制胶层厚度 ±2 μm;UV 功率闭环,避免固化不足 / 过固化收缩。
工装夹具:可更换 COB 载板夹具、FA 阵列夹具、硅光芯片载具;1.6T 多通道 FA 夹具加工精度要求极高。