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半导体光通讯-光学耦合设备(AA 主动对准机)
首页 >半导体设备图纸 >先进封装:固晶-焊线-TCB 2026-08-10 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]上传图纸即可免费下载哦!0
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图纸预览图
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图纸描述

可用于800G / 1.6T/CMOS芯片等 AA 主动对准耦合机(Active‑Alignment)!采用全自动设计,业绩首创!效率远远高于半自动!

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AA 主动对准:器件通电,实时读取光功率,六轴平台寻找到光功率极大点后固化锁紧;是 800G‑1.6T COB、BOX、硅光 PIC 模块的核心瓶颈设备,占整条封装产线价值 35‑40%。

项目800G 量产1.6T(硅光 / COB)说明
运动自由度6 轴(X/Y/Z+θx/θy/θz)6 轴双六轴(双工位)平移 + 三维角度微调
X/Y/Z 重复定位±0.1 μm±0.05 μm(50 nm)直线电机,大理石底座 + 气浮减震
角度重复定位±0.005°±0.003°角度偏移直接带来耦合损耗
最小运动步距10 nm1‑5 nm寻光收敛粒度
耦合重复性损耗≤0.3 dB≤0.2 dB多通道 FA 阵列关键指标
单通道耦合节拍40‑60 s60‑120 s;双 FA 同步可缩短至 45‑70 s双 FA 同步 TX/RX 同时耦合,效率 + 50%
固化方式UV 胶固化 / 激光焊接UV 胶固化为主;气密 BOX 用激光焊接UV 无热冲击;激光焊接适合气密封装
支持光路COB 透镜、单 FA、双 FA、Lens‑to‑Chip、光栅耦合多通道 FA 阵列、双透镜、硅光端面耦合1.6T 大量 8/16 通道 FA 阵列耦合

二、两大主流固化工艺

  1. UV 点胶‑UV 固化耦合(800G‑1.6T COB / 硅光主流)对准最优位置后点 UV 胶,LED‑UV 紫外照射固化;无热应力,适合 COB 裸芯片、硅光 PIC;风险点:胶水收缩带来后固化偏移,设备算法需要做预偏移补偿。

  2. 激光焊接 AA 耦合(BOX 气密器件)对准完成后脉冲激光点焊金属套筒;机械强度高、气密,无胶水蠕变;缺点:焊接热应力会造成光路微偏移,设备必须做焊接偏移闭环补偿,主要用于 TO‑CAN、BOX 激光器,硅光少用。

1.6T 硅光绝大多数采用:AA 主动对准 + UV 胶固化

三、设备内部关键子系统

  1. 六轴精密运动平台:直线电机 + 气浮减震,大理石基座,抑制外界振动(振动会直接导致耦合良率跳水)。

  2. 上下视觉系统:上相机看器件,下相机看光纤阵列 FA,预定位;不是最终对准,预定位减少寻光搜索范围

  3. 光功率实时采集模块:高速光电探测器,毫秒级采样,给寻优算法反馈。

  4. AA 寻优算法(软件核心)

  • 粗搜→爬山算法精搜→极大值锁定;

  • 1.6T 多通道 FA 必须做多通道联合寻优,不能单通道独立调,否则通道间损耗不均衡。

精密点胶 + UV 固化模组:微量点胶,控制胶层厚度 ±2 μm;UV 功率闭环,避免固化不足 / 过固化收缩。

工装夹具:可更换 COB 载板夹具、FA 阵列夹具、硅光芯片载具;1.6T 多通道 FA 夹具加工精度要求极高。

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图纸信息
图纸ID :601
文件大小:66.04K
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图纸格式:sldprt、sldasm
软件版本:2025
作者
用户XY0cKu
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