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Esec 2008 -8寸table晶圆台
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图纸描述

德国原图!欧系设计思路,十分的特别!细节考虑的很到位!标准化思路设计!

ESEC 2008 系列固晶机(Die Bonder)是半导体封装设备历史上的一代经典机型。该平台最初由瑞士著名半导体设备制造商 ESEC(后被 BESI 收购)研发推出,在半导体后道封测业界享有极高的声誉,以高速度、高稳定性和极佳的工艺适应性闻名。

以下是关于 ESEC 2008 固晶机的核心特点与技术解析:

1. 家族谱系与主要型号

ESEC 2008 是一个庞大的产品家族,针对不同的应用场景演进出了多个经典子型号:

  • ESEC 2008 hS (High Speed): 专注于高速度、大批量生产的基础平台,广泛应用于传统的引线框架(Leadframe)封装。

  • ESEC 2008 xP: 强调高精度(High Accuracy)与灵活性,常用于高端封装、复杂基板及严苛对准要求的应用。

  • ESEC 2008 hSplus / hS3 Plus: 融合了 hS 的超高速度与 xP 的先进视觉与精度技术,是该系列中极为成熟且普及的全自动环氧树脂(Epoxy)固晶机。

2. 核心技术特点

  • 卓越的产能与效率: 以经典的 hSplus 为例,其优化的 Pick & Place(取放)机械结构配合超高速视觉系统,单机产能(Throughput)可达到每小时上万颗芯片(如高达 13,000 UPH),是当年大规模量产线的主力。

  • 广阔的晶圆与封装兼容性:

    • 支持从 4英寸到 12英寸(300mm) 的晶圆尺寸。

    • 能够处理多种基板类型,包括各类金属引线框架(Leadframe)、BGA、CSP、QFN、LGA 以及分立器件载板。

    • 擅长处理薄晶圆(Thin Die)、叠层芯片(Stacked Die)以及晶圆背面减薄覆膜(Wafer Backside Lamination)工艺。

  • 高精度的视觉与点胶系统:

    • 配备多点实时视觉对准与纠偏功能,支持间接照明、点胶质量检测(Dispense Quality Check)及固晶后质量检查(Bond Quality Check)。

    • 搭载可编程气动点胶或先进的精密点胶模块,能够精准控制环氧树脂(Epoxy)胶点的大小与形态,防止溢胶或空洞。

  • 坚固耐用的机械设计: 秉承了瑞士设备一贯的精密与扎实,机台寿命极长。许多工厂的 ESEC 2008 系列在经过维护和翻新后,至今仍在不少成熟制程和功率器件(Power Device)封装厂中稳定服役。


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图纸信息
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