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采用高刚性设计,十分的详细!考虑到了钣金的加工工艺!机架采用低重心加厚和优化分析的底座架构,以及采用减震器的设计来对设备的振动隔离!可以直接应用在晶圆键合,晶圆检测,先进封装等对振动有要求的半导体设备!