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先进封装TCB热压键合Die_Feeding_Handler上料器
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图纸描述

该上料器是TCB热压键合设备和贴片机的选配模块化进料单元,核心作用是实现卷盘载带封装芯片自动送料,和晶圆 Wafer、Tray 托盘两种进料方式并行兼容,用于 2D/2.5D/3D 异构集成 FC 倒装、TCB 热压固晶量产场景。

包括吸嘴切换部分!(贴片机一般没有)是目前先进封装设备TCB或HB设备核心选配组件!针对卷料来料的键合设备!通常先进封装设备需兼容:裸晶圆、切割后晶圆、散料die等芯片的贴装!

二、核心功能价值

  1. 多源进料共存:同一台键合机可同时接入 Wafer 晶圆、Tape&Reel 卷带、Strip 条状基板、单颗分离芯片 4 种来料,机台软件一键切换,无需停机改线。

  2. 大批量连续生产:卷盘载带可连续供给数千颗裸 Die,相比 Tray 托盘大幅减少人工换料频次,适配光模块、SiP、HBM、AI 算力芯片高密度封装量产线。

  3. 芯片姿态稳定可控:载带限位 + 视觉定位双重纠偏,微小裸片不会偏移、翻转,匹配热压键合 ±2μm 超高贴装精度要求。

  4. 兼容正反面(Face Up/Face Down):载带内芯片两种摆放方向均可自动识别、拾取,覆盖倒装键合主流工艺。

三、机械结构拆分(上料器整机模块)

1. 卷盘夹持驱动单元(Reel Holder)

  • 双锥顶紧式卷轴:标准 7/13/15 英寸 IC 卷盘通用,气动锁紧,防止高速放带时卷盘窜动、偏心。

  • 伺服张力闭环控制:带张力传感器实时调节放带阻力,载带不会拉伸拉长、松弛堆叠,超薄载带无折痕。

  • 卷盘剩余料量实时监测:传感器计数剩余芯片数量,缺料提前预警,支持不停机接驳续料。

2. 载带输送 & 剥离机构(Tape Transport & Cover Tape Peeler)

  1. 封盖膜剥离模组:精准撕除载带上盖带,剥离角度恒定,不会拉扯芯片带出载带槽位;剥离后的盖带同步收卷废料盘集中收纳。

  2. 步进送料齿孔定位:标准 SPROCKET 齿孔伺服逐格进给,每一格精准停在拾取工位,重复定位精度 ±0.01mm。

  3. 压带、导向滚轮组:多层限位,窄至 8mm 微型载带到宽幅大尺寸载带均可稳定输送,杜绝卡带、跳格。

3. 顶起拾取工位(Eject Pin 顶针模组)

和晶圆上料顶针结构同源模块化设计:

  • 多级顶针高度可调,柔性顶起芯片,避免薄 Die 碎裂、崩边;

  • 真空吸嘴同步下行抓取,直接对接键合机 Bond Head 热压吸嘴,一次取料无二次中转。

4. 视觉对位子系统(集成机台 AOI)

  • 上、下双相机同步拍照:识别载带槽位、芯片偏移、角度旋转、极性标记;

  • 实时补偿 X/Y/θ 三轴偏差,修正后再拾取,保证热压键合最终 ±2μm 对准精度;

  • 空料、缺片、反向芯片自动标记跳过,不良品单独计数,接入产线 MES 系统。

5. 废料收卷单元

剥离后的盖带、空载带分别独立收卷,满卷自动提示更换,密闭防尘结构,无尘车间(Class 100/1000)适配,无碎屑污染键合腔体。


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图纸信息
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