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牛津仪器经典模块化单片式等离子设备,全平台最大兼容≤200mm(8 英寸)晶圆,主打实验室研发 + 中小批量试产,模块化腔体可自由选配刻蚀 / 沉积 / ALD 腔,是国内高校、三代半研究所标配机型。