客服
牛津仪器Oxford 单片式等离子设备技术手册
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:镀膜-PVD-CVD 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
58
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
资料描述

牛津仪器经典模块化单片式等离子设备,全平台最大兼容≤200mm(8 英寸)晶圆,主打实验室研发 + 中小批量试产,模块化腔体可自由选配刻蚀 / 沉积 / ALD 腔,是国内高校、三代半研究所标配机型

下载需要1金币 推广可免费下载
资料信息
资料ID :278
文件大小:77.38M
资料格式:pdf
相关说明:若下载有问题,请在右侧咨询在线客服! 本站资料由用户自行上传,如权利人发现存在误传其作品情形,请及时与本站联系。