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首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

资料为KS的TCB核心技术培训资料!大量TCB相关参数,BH的热和力场等技术讲解!13个文档!都是几十页一份!

K&S(库力索法)的TCB(Thermo‑Compression Bonding,热压键合)是面向HBM、Chiplet、AI/GPU、2.5D/3D细间距倒装 / 铜柱键合主流方案,介于传统倒装与 Hybrid Bonding 之间,主打无 / 少助焊剂、局部加热、低翘曲、高对准、8–20μm 间距,是当前先进封装量产主力!

一、TCB 核心原理(K&S 视角)

  • 传统倒装(Reflow):整板进炉(250℃+),靠焊料自对准;CTE 失配→翘曲、桥接、良率低;极限间距≈40μm。

  • K&S TCB局部加热 + 精准压力 + 实时控温

  1. 焊头吸附芯片,上下同步对准(<±1μm)

  2. 仅焊头加热(150–300℃),基板保持低温(<100℃),大幅抑制翘曲;

  3. 施加10–200MPa 压力,铜柱 / 微凸点与焊料 / 铜直接接触;

  4. 焊料回流或 Cu‑Cu 扩散,一步完成键合 + 固化,芯片冷却后再释放

✅ K&S TCB 关键优势

  • 超细间距:量产8–20μm,实验室可达 5μm;

  • 低应力 / 低翘曲:局部加热,基板温度低,适合大尺寸芯片(100×100mm+);

  • 高对准精度±0.5–1μm,优于传统回流(±3–5μm)

  • 电气性能优:互连短、寄生 RC 低,适配 HBM/AI 高带宽低功耗需求

  • 兼容 Cu‑Cu 直接键合:升级为Fluxless TCB(无助焊剂),Cu‑Cu 直接键合,间距 < 10μm。

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资料信息
资料ID :238
文件大小:155.72M
资料格式:pdf
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