资料为KS的TCB核心技术培训资料!大量TCB相关参数,BH的热和力场等技术讲解!13个文档!都是几十页一份!
K&S(库力索法)的TCB(Thermo‑Compression Bonding,热压键合)是面向HBM、Chiplet、AI/GPU、2.5D/3D的细间距倒装 / 铜柱键合主流方案,介于传统倒装与 Hybrid Bonding 之间,主打无 / 少助焊剂、局部加热、低翘曲、高对准、8–20μm 间距,是当前先进封装量产主力!
传统倒装(Reflow):整板进炉(250℃+),靠焊料自对准;CTE 失配→翘曲、桥接、良率低;极限间距≈40μm。
K&S TCB:局部加热 + 精准压力 + 实时控温
焊头吸附芯片,上下同步对准(<±1μm)
仅焊头加热(150–300℃),基板保持低温(<100℃),大幅抑制翘曲;
施加10–200MPa 压力,铜柱 / 微凸点与焊料 / 铜直接接触;
焊料回流或 Cu‑Cu 扩散,一步完成键合 + 固化,芯片冷却后再释放
超细间距:量产8–20μm,实验室可达 5μm;
低应力 / 低翘曲:局部加热,基板温度低,适合大尺寸芯片(100×100mm+);
高对准精度:±0.5–1μm,优于传统回流(±3–5μm)
电气性能优:互连短、寄生 RC 低,适配 HBM/AI 高带宽低功耗需求
兼容 Cu‑Cu 直接键合:升级为Fluxless TCB(无助焊剂),Cu‑Cu 直接键合,间距 < 10μm。