晶圆键合设备手册
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图纸预览图
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资料描述
此处所描述的一般安全预防措施和程序适用于所有操作本手册所涵盖设备的人员。应根据设备的特定应用和配置情况以及当地法规制定具体的安全规程。操作人员必须全面熟悉这些规程。应将规程张贴在显眼位置,以便所有设备操作人员能够持续接收到相关信息。