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BESI Datacon 8800FC倒装固晶机爆炸图-电气图
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图纸预览图
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资料描述

8800FC爆炸图 电气图!大量设备结构细节展示!具有仿制价值!

8800 FC 是当前量产级 FC 设备的性能标杆:兼顾 ±4μm 精度、16k UPH 产能、全流程良率控制 ,适合高端 IC 与功率器件大规模生产!

Datacon 8800 FC 是半导体行业经典的全自动高精度倒装键合(Flip Chip)设备,主打高产能、高良率、高灵活性,广泛用于高端 IC、功率器件及先进封装(如 2.5D/3D)量产。

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一、型号家族与定位

  • 8800 FC QUANTUM(基础版):经典量产机型,±5μm@3σ,UPH 6k–9k。

  • advanced(进阶版):CRYSTAL 玻璃助焊 + 同步检测,UPH 最高9,000

  • hS(高速版,最新):Quattro 四吸嘴,UPH 最高16,000,精度提升至 **±4μm@3σ**。

二、核心规格(hS /advanced)

1. 精度与产能

  • X/Y 定位精度:hS ±4μm;advanced ±5μm @3σ。

  • 产能 UPH:hS 16,000;advanced 9,000(含助焊)。

  • 键合力:0.5N–5N(50g–500g)。

2. 芯片 / 晶圆兼容

  • 芯片尺寸:hS 1–14mm;advanced 0.4–30mm

  • 芯片厚度:hS 70μm–2mm;advanced 20μm–7mm

  • 晶圆尺寸:8"/12"(适配 8"/12" frame)

3. 基板与工艺

  • 基板类型:FR4、陶瓷、BGA、载带、引线框、晶圆载具

  • 工作面积:13"×8"

  • 视觉系统:hS 26MP,大视场(基板 16×16mm;晶圆 29×29mm)。

三、关键技术亮点

  1. Quattro 多吸嘴(hS):四吸嘴同步取放,产能翻倍,单位成本最低

  2. CRYSTAL 玻璃助焊(advanced):专利玻璃平台,助焊 + 检测同步,减少等待、良率更高。

  3. 全流程良率控制:伪 X 光检查、键后快速检测、集群校准,量产良率 > 99.5%

  4. 7 轴运动控制:X/Y/Θ 定位 + Z/W 键合 + A/B 自动调平,超薄 / 大芯片无压裂

四、典型应用

  • 高端逻辑 / SoC:手机主芯片、AI 处理器(FC-BGA)。

  • 功率半导体:SiC/GaN 模块、IGBT、MOSFET(FC 降低热阻)。

  • 先进封装:2.5D/3D IC、TSV、超薄晶圆(<50μm)。

  • 汽车电子:自动驾驶芯片、车载电源(高可靠)。

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资料信息
资料ID :264
文件大小:335M
资料格式:pdf
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