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静电卡盘的系统电源手册和技术资料
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图纸预览图
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资料描述

静电卡盘(ESC, Electrostatic Chuck / E-Chuck)是半导体前道设备(刻蚀、PVD、CVD、离子注入)里的核心精密陶瓷部件,用来在高真空 / 等离子体环境下无机械应力、均匀、洁净地吸住晶圆,并承担精确控温 + 背面氦气冷却功能。

主要应用场景

  • 刻蚀(Etch):导体 / 介质刻蚀,等离子体强、温度高,必用 ESC。

  • PVD/CVD:薄膜沉积,均匀控温要求高。

  • 离子注入(Implant)高温(400–600℃)、强束流,需耐高温 ESC。

  • 先进封装:超薄晶圆、临时键合、2.5D/3D制程。

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资料信息
资料ID :265
文件大小:3.53M
资料格式:pdf
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