日本 DISCO晶圆切割机全套详细手册资料:机械爆炸图。电气图,各种手册,技术资料!50多份,十分有价值!

设备类型:对向式双主轴(Facing Dual Spindle)全自动划片机
加工对象:8/12 英寸硅晶圆、玻璃、陶瓷、蓝宝石、金属 / 树脂复合基板
典型应用:常规硅片切割、功率器件、存储器、MEMS、普通封装(非 Low‑k / 超薄)
工艺路线:金刚石刀片 + 水冷切割,属于传统但成熟的 “刀切”,非激光。
双主轴高效:对向布局、间距短,双刀并行,产能比单主轴高约40–50%,比前代↑7%
高精度稳定:空气轴承主轴、高刚性床身、闭环控制,±2μm 级定位
全自动高稼动:ABC 换刀、自动磨刀、视觉对准、碎片检测,适合 24h 量产
成熟可靠、成本低:刀切工艺稳定、良率高、维护成本低于激光;适合大批量、非超薄 / 非 Low‑k