适用封装:高引脚数 BGA、2.5D/3D IC、Chiplet、HBM、CPU/GPU、高端光模块
核心工艺:锡球倒装焊、凸点键合、热压键合(TCB)、助焊剂浸蘸
双头并行:双焊头独立运动,产能碾压单头,适合大规模 FC 量产
纳米级精度:±2μm+3D 视觉,满足 2.5D/3D、HBM 等高要求
全工艺兼容:锡球 / 凸点 / TCB / 助焊剂一键切换,覆盖高端 FC 全场景
超大基板适配:300mm 晶圆 + Panel,支持大尺寸 Chiplet 异构集成
智能良率管控:AI 视觉全检 + 实时反馈,良率≥99.95%
贴装精度:XY ±2 μm @3σ;旋转 ±0.15° @3σ(高端 FC 标杆)
产能:8,000–12,000 UPH(双头并行),比单头高 60%+
基板 / 晶圆:最大 300 mm 晶圆 / 超大基板,支持 Panel 级
芯片尺寸:1×1 mm ~ 30×30 mm(超薄 50 μm–5 mm)
键合力:100–1,000 g(适配大尺寸 / 高凸点 FC)
视觉系统:四相机 3D 视觉 + 激光共焦,凸点 / 锡球全检
焊头:双头独立驱动 + 龙门结构,并行作业,换型快
尺寸(W×D×H):2,800 × 1,800 × 2,100 mm