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先进封装共晶热压倒装键合设备研发技术35页
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资料描述

二、 如何保障“贴装精度(±1.5µm)”?

在 SMT Mounter(贴片机)中,Solder Bump 具备自对准(Self-alignment)功能;但在 DDI 封装中,采用的是 Au Bump(金凸点)直接热压共晶(Thermo-compression Eutectic),由于 Gold 熔点特性,完全不具备 Self-alignment 能力。这意味着任何微小的系统误差都会直接导致贴装失效。

研发团队通过四大技术支柱,将精度死死锁在 ±1.5µm 以内

1. 消除光学累积误差:双通道同轴探针相机

传统的“异地检测再移动到工作区”方案会因为机械行程产生严重误差。

  • 研发突破:研发内嵌式的“上、下同轴”双探针相机。在 Bonding Zone 中心 Z 轴同轴线上,直接对处于热膨胀状态的 Chip 与 Film 进行同时同地 (Dual Recognition) 检测

  • 硬核数据:通过微缩 Lens 镜筒尺寸与非对称 WD(工作距离)配置,将 Chip 与 Film 的相对 Z 向距离从 60mm 缩短至 40mm,使 Up-Down 动作时间从 0.35s 压榨至 0.23s

2. 迎战微细化:Film Lead Edge Detection 算法

随着 COF Film 走向 Fine-pitch,Cu Lead 表面电镀 Ni/Sn 后呈现不规则的圆润截面,传统 Pattern Matching 难以精准定位

  • 实战方案:引入 Lead Edge Detection Algorithm(引线边缘检测算法)。先执行 Pattern Matching,再深入提取 Pattern 内的 Lead Edge 计算中心,彻底剥离 Lead 线宽不均带来的干扰。同时,将相机 Resolution 从 1.85 µm/pix 升级至 1.23 µm/pix,从像素级上保障精度