在大规模VHF-CVD 设备中，将高频率处理时产生的驻波效应降至最低；同时实现微晶硅薄膜的高速沉积，从而降低太阳能电池制造的成本。
主要技术内容
硬件及工艺研发：克服了传统 bar 型电极的缺点，研发出了 plate 型分割电极，并配备了 60MHz 的高频发生器及相位控制器，从而确保了大面积区域的均匀性，达到了 0#的水平。
工艺性能：通过应用相位调制技术，在 2 托的压力和 0.3 瓦特每平方波的 VHF 功率条件下，实现了超过 20 Å/秒的沉积速率和均匀性，温度达到 0 摄氏度时也是如此。
晶片传送装置、等离子体化学气相沉积装置等多项核心技术 。
