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首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 1
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资料描述

Datacon2200‑EVO 是 BESI 旗下多芯片贴装 Multi‑Module Attach 固晶机(Die Bonder),主打 SiP/MCM、功率模块、倒装芯片,属于中高端多功能固晶平台;和 8800 系列定位区分:2200 侧重多芯片混合贴装、功率、银烧结;8800 FC/Chameo 面向高端倒装、混合键合、2.5D 先进封装Besi

平台核心能力

  1. 多工具头:最多 14 组拾取吸嘴、5 个顶出工具,单机可同时完成正装固晶 + 倒装芯片,一次走板实现多种芯片贴装Besi。

  2. 供料兼容:12 英寸晶圆、Waffle/Gel‑Pak 托盘、料带;基板支持陶瓷、PCB、引线框架、载板、船型夹具Besi。

  3. 工艺覆盖:导电 / 非导电环氧点胶、印章点胶、共晶焊、热压、银烧结、助焊剂浸蘸;可选 UV 固化 (365/405 nm)、压电喷射点胶、螺旋泵点胶Besi。

  4. 产能:正装固晶最高 7000UPH;倒装芯片 2500‑3200UPH;支持双工位模块提升产能选项Besi。

  5. 硬件:开放平台架构,支持 EFEM 晶圆接口、自动工具切换、离线编程。

型号定位XY 精度 @3σ键合力典型应用
2200 evo基础版±10 μm0.5‑25 NMCM、SiP、光电器件、传感器
2200 evo plus增强量产版±7 μm0.5‑25 N大批量多芯片模组,热补偿优化
2200 evo hS高精度版±7 μm0.5‑25 N长周期生产稳定性,洁净室优化
2200 evo advanced旗舰精度±3 μm0.5‑25 N高端 SiP、薄芯片、精细倒装
2200 evo hF高力功率版±10 μm最大 500 NIGBT、SiC/GaN 功率模块、银烧结工艺