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BESI混合键合设备技术概述Hybrid Bonding-17页详细版本
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资料描述

 BESI 的混合鍵合設備核心優勢

BESI 將其在傳統固晶機(Die Attach)領域累積 20 多年的超高精度控制技術,成功延伸至混合鍵合領域(代表機型如 Datacon 8800 CHAMEO Ultra Plus AC 等系列)。其技術特點包括:

  • 極致的對位精度:混合鍵合要求奈米級的放置與對位精度(通常需小於 50 nm),BESI 採用頂尖的光學對位與先進演算法來克服熱漂移與晶圓翹曲。

  • 嚴苛的潔淨度概念:由於混合鍵合對微粒極度敏感(微米級異物即會導致大面積空洞與失效),設備在氣流、環境控制與晶粒抓取機構上採用了前段半導體等級的潔淨技術。

  • Die-to-Wafer (D2W) 與 Die-to-Die (D2D) 方案:能夠靈活應對異質整合(Heterogeneous Integration),滿足邏輯晶片與記憶體、GPU 之間的複雜堆疊需求。