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半导体新测量标准与测量技术141页
首页 >半导体设备资料 >晶圆量测:量测-检测-光学 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

以下是核心内容:

1. 基于 CRDS 的水分透过率测量技术

  • 柔性显示屏或可穿戴计算机等设备对水分非常敏感,因此需要具有极低透水性的防护膜。目前 开发的利用放射性物质(三氧化硫)的测量方法在工业应用上存在法律和安全性方面的限制,因此有必要开发使用非放射性方法——CRDS(腔环降光光谱法)的测量技术。

    • 我们构建了低流量、低压力的气体反馈系统,以及能够调节水分吸收和释放的系统(通过周期性温度变化来实现)。这些改进提升了系统的分解能力与精确度。

    • 测量范围达到 $(10^{-5}\sim10^{-2})\text{g/m}^2\cdot\text{day}$ ,测量精度达到 $5\times10^{-5}\text{g/m}^2\cdot\text{day}$ 以下。

    • 我们采用先进的测量技术,确保具备全球领先的测量能力。随后,为国内显示技术和材料研发企业(如 S 公司、L 公司等)提供技术咨询和支持。

2. EMP 防护设施屏蔽性能监测技术开发


  • 研究背景与必要性:为了保护重要设施免受电磁脉冲攻击,所建设的电磁防护设施在竣工后由于时间推移等因素导致屏蔽性能下降。因此,需要一种能够持续监测其性能的系统。

  • 研究内容及成果:

    • 我们提出了一种利用 LCX)来实时监测大型电磁脉冲防护设施屏蔽效果的系统方案。


    • 通过构建小型演示系统并进行实验,在扩展不确定度不超过 1 分贝的情况下,仍然可以测量到超过 100 分贝的屏蔽效果。

    • 3. 基于 MEMS 技术的热量型质量流量传感器研发


  • 研究背景与必要性:随着天然气交易的增加,现有的体积式流量计面临着磨损问题以及温度压力校准误差的问题。因此,需要开发一种基于高精度 MEMS 技术的气体流量计,能够直接测量质量流量。

  • 研究内容及成果:

    • 我们设计了一种带有热电极和热电堆的 MEMS 传感器结构,并改进了相关工艺,以提高产量和粘合性能(如 Cr 缓冲层技术等)。

    • 在 1~50 升/分钟的范围内,已经完成了相关性能测试。