50页技术资料！ MKS、VAT、Nor‑Cal 进口产品的替代，用于 CVD、刻蚀机、溅射设备、LCD/OLED 显示设备真空腔室闭环压力控制。整套压力控制系统 = 真空节流阀本体 + APC 控制器 + 真空压力计（电容式 Baratron）；上位机 Host 下发设定压力，控制器读取真空计信号闭环调节阀门开度，改变管路流导，控制腔室压力。
多偏心蝶板 Flapper 驱动结构，实现 Zero‑conductance 完全密封；
阀体本体直接加热结构（区别海外护套间接加热），最高 250℃高温工况；开发高温无润滑轴承；
CFD 流体仿真优化蝶板与阀体流道结构，降低颗粒生成。
实现 PID 自动整定 Auto‑calibration 闭环压力控制算法；
多通讯接口：RS232C、RS485、Ethernet；
本地 LCD 液晶 GUI 界面，实时显示压力、阀门角度；PC 端上位机 GUI，数据记录导出 Excel；
支持外部真空计信号采集，步进电机闭环微步驱动，Back‑EMF 反电动势位置检测。
主控芯片选用CB320 嵌入式 MCU，系统分为 4 大模块：
控制模块：MCU 主板，ADC 采集真空计 0‑10V 模拟信号，PWM 输出电机驱动信号；
测量模块：适配 MKS Baratron 电容真空计，信号调理电路，将 0‑10V 信号转为 MCU 可接收 0‑5V；
电机驱动模块：步进电机微步驱动，读取位置传感器、Back‑EMF 做闭环；
通讯 & 人机模块：RS232、RS485（SN75176B 芯片），XPORT‑W 实现串口转以太网；本地按键 LCD，PC 端 GUI 监控软件。
整机壳体使用 AL6061‑T6 铝合金，分成 MCU 主板、PORT 接口板、SW 按键板三块 PCB。 软件逻辑流程：上电回零 HOME 位置 → 读取真空计压力 → 和设定点对比 → 判断增大 / 减小阀门开度，驱动步进电机调整蝶阀角度。
