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OLED核心工艺设备封装贴合技术:大面积透明柔性显示器实现的 8G Half 级核心设备开发-345页
首页 >半导体设备资料 >高端装备:精机-3C-SMT-面板 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

随着传统 LCD 产业进入成熟和增长停滞期,以 OLED 为核心的次世代显示器成为新增长点。为了创造全新市场,业界亟需实现透明柔性AMOLED的大面积量产。针对大面积(8G Half 及 77英寸级)透明柔性显示器制造,重点攻克 背板、Panel(面板)、Encapsulation(封装)及 Module(模组)等四大核心工艺环节

 文档主要核心内容:十分详细:涵盖了透明柔性显示器制造的全套核心设备与工艺优化:

  • 透明电极与 Sputter 装备开发

    • 开发了面向 Top Emission(顶部发光)结构的高性能透明电极 Sputter 装备,采用 Facing Target Sputtering(FTS)等抗有机物损伤概念。

    • 成功开发并量产了 8G Half 尺寸的 OMO(氧化物-金属-氧化物)透明电极 Sputter 设备,并实现了大面积旋转阴极(Rotary Cathode)的国产化。

  • 大面积封装 (Encapsulation) ALD 装备开发

    • 针对 OLED 极易受水汽和氧气侵蚀的问题,世界首次开发了 8G Half 级大面积 Plasma ALD(等离子原子层沉积)系统

    • 在沉积速率(Deposition Rate)、台阶覆盖率(Step Coverage)及水汽透过率(WVTR)等指标上表现优异,并在面板厂实际产线进行了验证与量产适用。

  • PI 涂布与高粘度材料高速成膜

    • 开发了 8G 级 PI (聚酰亚胺) 高速 Slit Die Coating 装备及大容量泵、超硬喷嘴、Direct Press Nozzle Printing 等核心零部件,满足柔性基板的高平整度与高生产率需求。

  • 激光切割与剥离(LLO)系统

    • 开发了可在 carrier 玻璃基板与柔性 PI 膜上进行同步切割的 8G 级大面积 Laser 激光光学系统与 Cutting 装备

    • 开发了用于柔性基板与载体玻璃无损分离的 77英寸级大面积 LLO(Laser Lift-Off)激光释放系统

  • 模组与可靠性检测

    • 开发了针对 18英寸至 77英寸大面积透明柔性及 Rollable 卷曲显示器面板的弯曲驱动、老化及可靠性综合测试/检查设备