这份资料为韩国面板巨头公司内部研究资料，请慎用！开发一种超声波悬浮技术，应用于大尺寸、超薄玻璃基板的显示器生产线。
该技术适用于显示器行业，还可扩展应用于半导体、太阳能晶圆、柔性显示屏、膜片等需要非接触搬运和精细工艺的领域。
以下是该文档内容的总结：
随着8K电视时代的到来，显示器面板趋向于大尺寸化（10.5代级）和超薄化。
传统的机器人搬运方式在大尺寸超薄玻璃基板处理中容易造成弯曲、扭曲或微裂纹，且设备成本高，处理速度受限。
现有的气浮（Air Bearing）技术对温度敏感，难以应用于需要精确温度控制的湿法涂布或高温干燥工艺。
超声波悬浮技术： 通过非接触式超声波振动产生的“挤压气膜”来实现基板悬浮，避免了直接接触，减少了划伤。
主要设备技术：
涂布设备（Coater）： 开发了10.5代级大面积涂布系统，采用狭缝式喷嘴（Slit Nozzle）和高响应PR供给泵，实现了高均匀度涂布。
干燥设备（Dryer）： 开发了集成了超声波悬浮和高精度温度控制的加热系统，确保了热干燥过程的均匀性，并解决了PR烟雾控制问题。
在线搬运系统（Inline System）： 实现了不依赖机器人的直接连续搬运，通过倾斜结构和超声波悬浮实现了生产线的自动化连续作业。
与传统机器人搬运相比，生产效率（Tact Time）提升了15%以上。
涂布厚度均匀度达到±2.5%以内，干燥温度均匀度达到120℃±1℃。
通过取消昂贵的机器人和真空系统，降低了设备投资成本（约30%以上）。
