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Beneq (总部位于芬兰埃斯波)是一家领先的设备制造商,专注于原子层沉积 (ALD) 技术,服务于半导体研发和工业制造领域。该公司以开创工业规模 ALD 生产而闻名,其系统专为埃级薄膜厚度控制、复杂三维形貌上的高保形性以及先进半导体、功率器件、微机电系统 (MEMS) 和先进封装市场的精密制造而设计。