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TEL晶圆涂胶显影机LITHIUS Pro Z开机操作手册全套
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:光刻-显影-刻蚀-热处理 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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图纸预览图
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资料描述

开机启动调试手册,新机进场、停机大修后初次上电、试运行标准文档。

  1. 配套光刻机(DUV / EUV),完成晶圆光刻胶涂布、烘烤、显影整套工序;

  2. 面向10nm 及以下先进制程,支持多重图形化、EUV 工艺;

  3. 晶圆厂标准量产设备,全球先进逻辑、DRAM、NAND 大量部署。

型号小知识

  • LITHIUS Pro V:上一代机型

  • LITHIUS Pro Z:主力高端量产平台(市面上保有量最大)

  • LITHIUS Pro Z-i:Z 的升级改良版本

  • 新一代后继机型:LITHIUS Pro DICE