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配套光刻机(DUV / EUV),完成晶圆光刻胶涂布、烘烤、显影整套工序;
面向10nm 及以下先进制程,支持多重图形化、EUV 工艺;
晶圆厂标准量产设备,全球先进逻辑、DRAM、NAND 大量部署。
LITHIUS Pro V:上一代机型
LITHIUS Pro Z:主力高端量产平台(市面上保有量最大)
LITHIUS Pro Z-i:Z 的升级改良版本
新一代后继机型:LITHIUS Pro DICE