确定用于形成高密度微柱凸点的锡(Sn)电镀材料(电镀液、添加剂)和大规模生产级电镀设备的本地化 ,这是 HBM 半导体封装的核心技术。
主要技术内容 :
材料 :确保 HBM 微柱凸点电镀解决方案和添加剂的制造技术,大规模生产工艺!
电镀设备开发 :用于 12 英寸晶圆的高生产率(吞吐量 40WPH 或更高)连续锡电镀和清洗工艺设备的开发!
工艺优化 :通过高纯度提纯技术(去除α粒子和金属杂质)控制杂质,确保 12 英寸晶圆的均匀性(WID ≤ 10%),开发大面积精细图案技术
可靠性验证 :通过老化试验(200 万 A·min)验证电镀液寿命,通过客户质量评估