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电镀设备和材料的开发技术100页-用于高带宽存储器(HBM)半导体的微柱凸点
首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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图纸预览图
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资料描述

确定用于形成高密度微柱凸点的锡(Sn)电镀材料(电镀液、添加剂)和大规模生产级电镀设备的本地化 ,这是 HBM 半导体封装的核心技术。

  • 主要技术内容 


    • 材料 :确保 HBM 微柱凸点电镀解决方案和添加剂的制造技术,大规模生产工艺!


    • 电镀设备开发 :用于 12 英寸晶圆的高生产率(吞吐量 40WPH 或更高)连续锡电镀和清洗工艺设备的开发!


    • 工艺优化 :通过高纯度提纯技术(去除α粒子和金属杂质)控制杂质,确保 12 英寸晶圆的均匀性(WID ≤ 10%),开发大面积精细图案技术  


    • 可靠性验证 :通过老化试验(200 万 A·min)验证电镀液寿命,通过客户质量评估