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用于制造透明导电膜的铟减量纳米粉体中试制造技术开发
首页 >半导体设备资料 >高端装备:精机-3C-SMT-面板 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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图纸预览图
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资料描述

ITO是透明导电氧化物(TCO)的核心材料,但铟资源稀缺供应不稳定。因此,开发铟减量材料及替代技术迫在眉睫。

开发“清洁低温湿式法”和“等离子体法”两种原位生产技术,实现铟减量纳米粉体(IZTO等)的中试(Pilot scale)生产,并将其应用于触摸屏及显示器件的透明电极

技术内容

  • 清洁低温湿式法:通过水系溶剂进行合成,避免了废弃物产生,实现了250℃以下的低温热处理,在提高粉体纯度的同时降低了能耗

  • 等离子体法:利用高温高焓热流(3,000K以上)进行干式合成,能够使SnO₂和ZnO等掺杂物质固溶于In₂O₃中,成功制备了In含量最高降低60 wt%的IZTO纳米粉体

  • 性能指标:项目成功实现了以下量产及性能目标:

    • 铟减量率:≥ 10 wt%

    • 粉体粒径:≤ 20~50 nm

    • 生产效率:达到0.8 kg/hr 或 kg/batch

    • 透明导电膜:电阻 250±100 Ω/□,透光率 ≥ 90%