XEANOVA 是冯阿登纳（VON ARDENNE）推出的一款高性能、模块化在线式（Inline）真空镀膜系统。该设备主要面向高产能的工业应用，尤其在光伏及精密薄膜沉积领域具有广泛应用。
以下是关于该系统的核心技术特点与应用概览：
高产能设计：设备采用宽大腔体幅宽，支持多片基板同步加工，专为追求大规模量产、低成本的生产场景而设计。
高度模块化：得益于其灵活的模块化结构，XEANOVA 可以轻松适应新的工艺需求。
镀膜工艺：可搭载可旋转磁控靶（Rotatable Magnetron）用于高性能 TCO 薄膜、金属及金属氧化物溅射，并可适配线性热蒸发等多种工艺。
预处理能力：基板可在系统内完成真空环境下的预处理（如清洗、刻蚀），也可集成前置清洗模块。
应用灵活性：既适用于硅片等小型基板，也可处理超薄基板，并支持双面镀膜。
高稼动率与易维护：设计上兼顾了高效运行与快速维护的需求，确保生产的连续性。
XEANOVA 系列广泛应用于光伏与新型太阳能电池制造，涵盖以下工艺方向：
TOPCon 太阳电池
异质结（HJT）太阳电池
钙钛矿叠层太阳电池
光伏建筑一体化（BIPV）
其他高科技平板基材的薄膜沉积
