客服
应用材料公司AKT-PECVD-等离子体增强化学气相沉积-技术资料
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:镀膜-PVD-CVD 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
45
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
资料描述

AMAT AKT系列资料,应用材料公司AKT  PECVD 系统,精密等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术资料,应用于大尺寸的基板!

一、基本定位与型号含义

  • AKT:Applied Materials 显示设备产品线品牌。

  • 20K:对应Gen 5.5基板(925×1500 mm),适配手机 / 平板等中小尺寸柔性 OLED。

  • TFE:Thin‑Film Encapsulation(薄膜封装),OLED 关键工艺。

  • PECVD:等离子体增强化学气相沉积, 低温(<100°C)** 成膜,保护 OLED 有机层对比型号:AKT‑40K(Gen 6,1250×2200 mm),面向大尺寸柔性 OLED 电视。

二、核心参数与工艺特点

  1. 基板规格925×1500 mm(Gen 5.5),单腔多片 / 单片式设计。

  2. 沉积温度<100°C,低温工艺适配塑料 / 柔性基板,避免 OLED 热损伤

  3. 阻隔膜性能

  • 材质:SiN、SiO₂、SiON等多层复合膜。

  • 超低水 / 氧渗透率(WVTR <10⁻⁶ g/m²/day),显著延长 OLED 寿命。

产能与精度

  • 高吞吐量,满足量产需求。

  • 视觉对准 + 高精度掩膜定位,减少光刻 / 蚀刻,降低成本

架构:集群式(Cluster),多腔并行,兼容 **PI(聚酰亚胺)** 柔性基板制程。

三、核心应用

  • 柔性 OLED 手机屏:主流折叠 / 曲面屏封装方案。

  • 可穿戴设备(手环 / 手表):超薄、高弯曲性显示屏。

  • 柔性照明 / 车载显示:曲面、异形 OLED 器件。

下载需要9金币 推广可免费下载
资料信息
资料ID :246
文件大小:182.6M
资料格式:pdf
相关说明:若下载有问题,请在右侧咨询在线客服! 本站资料由用户自行上传,如权利人发现存在误传其作品情形,请及时与本站联系。