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BESI Datacon 2200 evo 是半导体后道封装的主力固晶设备,以高精度、高灵活性、高稳定性著称,广泛用于多芯片模块、功率器件、光电子及先进封装(SiP/2.5D/3D)产线。
BESI Datacon 2200 是荷兰半导体设备商 BESI(原奥地利 Datacon)推出的高精度多芯片贴装 / 固晶机,型号全称 Datacon 2200 evo,主打半导体后道封装的 Multi Module Attach(多模块贴装) 与 Flip Chip(倒装) 应用

设备类型:全自动高精度固晶机(Die Bonder/Die Attacher)
核心工艺:芯片贴装(Die Attach)、多芯片堆叠、倒装(Flip Chip)、共晶 / 烧结键合
典型应用:消费电子、汽车电子、光电子、功率器件、先进封装(如 SiP)
产能与良率: uptime > 98%,yield > 99.95%。
2200 evo(基础版):通用多芯片贴装,±7μm@3s 精度。
2200 evo plus:增强配置,更广工艺兼容
2200 evo hS(高精度):±3μm@3s,新一代视觉 + 热补偿,高稳定性

2200 evo hF(高压力):键合力 500N,功率器件烧结 / 高压键合。

2200 evo advanced(旗舰):全新龙门 + 控制器,±3μm@3s,±0.07° 旋转精度,14 吸嘴,3D 测高。

贴装精度:X/Y ±3μm@3s;Theta ±0.07°@3s。
芯片尺寸:0.17mm–50mm,厚度 0.17mm–7mm。
晶圆尺寸:2"–12"(50–300mm)。
键合力:0.05–25N(闭环);hF 版可达 500N。
工具配置:最多 14 个拾取吸嘴、5 个顶出工具。
视觉系统:高速图像处理,多相机配置,3D 非接触测高
外形尺寸:1160×1225×1800mm。
超高精度:hS/advanced 版达 ±3μm,满足先进封装需求。
多芯片兼容:单台设备支持多芯片、堆叠、倒装,灵活适配 SiP 等异构集成工艺
多样性:环氧贴装、共晶、烧结、倒装焊,覆盖主流键合技术。
高稳定性:热补偿算法 + 刚性龙门结构,长期生产精度稳定
高产能:双轨 / 多工具并行,适配大规模量产。