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BESI 键合机2200全套手册资料
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资料描述

全套手册和技术培训资料、爆炸图等等,对设计和仿制2200这款设备绝对有价值的一款资料!

BESI Datacon 2200 evo 是半导体后道封装的主力固晶设备,以高精度、高灵活性、高稳定性著称,广泛用于多芯片模块、功率器件、光电子及先进封装(SiP/2.5D/3D)产线。

BESI Datacon 2200 是荷兰半导体设备商 BESI(原奥地利 Datacon)推出的高精度多芯片贴装 / 固晶机,型号全称 Datacon 2200 evo,主打半导体后道封装的 Multi Module Attach(多模块贴装)Flip Chip(倒装) 应用

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一、核心定位与用途

  • 设备类型:全自动高精度固晶机(Die Bonder/Die Attacher)

  • 核心工艺:芯片贴装(Die Attach)、多芯片堆叠、倒装(Flip Chip)、共晶 / 烧结键合

  • 典型应用:消费电子、汽车电子、光电子、功率器件、先进封装(如 SiP)

  • 产能与良率: uptime > 98%,yield > 99.95%。

二、主流型号(2200 evo 系列)

  • 2200 evo(基础版):通用多芯片贴装,±7μm@3s 精度。

  • 2200 evo plus:增强配置,更广工艺兼容

  • 2200 evo hS(高精度)±3μm@3s,新一代视觉 + 热补偿,高稳定性

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  • 2200 evo hF(高压力):键合力 500N,功率器件烧结 / 高压键合。

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  • 2200 evo advanced(旗舰):全新龙门 + 控制器,±3μm@3s,±0.07° 旋转精度,14 吸嘴,3D 测高。

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三、关键技术参数(以 advanced 为例)

  • 贴装精度:X/Y ±3μm@3s;Theta ±0.07°@3s

  • 芯片尺寸0.17mm–50mm,厚度 0.17mm–7mm

  • 晶圆尺寸:2"–12"(50–300mm)。

  • 键合力0.05–25N(闭环);hF 版可达 500N

  • 工具配置:最多 14 个拾取吸嘴、5 个顶出工具。

  • 视觉系统:高速图像处理,多相机配置,3D 非接触测高

  • 外形尺寸:1160×1225×1800mm。

四、核心优势

  1. 超高精度:hS/advanced 版达 ±3μm,满足先进封装需求。

  2. 多芯片兼容:单台设备支持多芯片、堆叠、倒装,灵活适配 SiP 等异构集成工艺

  3. 多样性:环氧贴装、共晶、烧结、倒装焊,覆盖主流键合技术。

  4. 高稳定性:热补偿算法 + 刚性龙门结构,长期生产精度稳定

  5. 高产能:双轨 / 多工具并行,适配大规模量产。

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资料信息
资料ID :203
文件大小:948.64M
资料格式:pdf
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