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无氰金凸块电镀液技术开发资料--128页
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:光刻-显影-刻蚀-热处理 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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图纸预览图
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资料描述
  • 电镀液稳定性与效率:开发 pH 缓冲溶液(目标 pH 7.9),电流效率达到 ≥95.0%,并确定了能够保障电镀液安全性与电效率的螯合剂及导电盐浓度。

  • 硬度控制(热处理后):通过应用特定的有机表面活性剂及金属添加剂(如铊 Tl+、钯 Pd2+),成功实现了对金凸块硬度的精准控制,达到了低(40-60 Hv)、中(60-80 Hv)、高(90-110 Hv)三个等级的目标。

  • 表面特性与可靠性:通过引入杂环化合物流平剂,优化了金凸块的表面粗糙度(1,453 Å)及平坦度(凹陷度改善至 0.30 µm),满足了高集成度封装的需求。

  • 寿命与工艺:电镀液寿命达到了 3.0 MTO(目标 2.5 MTO),且在 IC 芯片用厚度偏差方面优于行业标准(实测偏差 0.0%,目标 ≤12%)。