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来自韩美半导体-半导体切割和分选一体机技术开发资料149页
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资料描述

随着封装技术从传统的CSP向WLP(晶圆级封装)及TSV(硅通孔)技术发展,且由于市场对高效率、低成本设备的需求增加,国内企业需要改变仅依赖传统设备、技术落后的现状

以下文档的技术内容要点

该项目按阶段分步进行,主要涵盖了以下关键技术:

  • 1阶段(Sawing & Placement系统)

    • 开发了超高速Sawing & Placement系统,通过应用双刀片(Dual blade)和双卡盘(Dual chuck)实现了生产率20%以上的提升

    • 构建了10Mbps运动网络系统,优化了Pick & Place处理过程

    • 开发了高可靠性视觉检测系统,实现了高精度缺陷检测,并将Overkill率降至2%以下,Underkill率降至0.01%以下

    • 大量结构细节分享!

  • 2阶段(激光技术与WLP设备)

    • 激光切割技术:开发了能够进行曲线形状切割的激光基设备,解决了传统水刀(AWJ)或研磨设备生产率低、维护成本高的问题。进一步升级为双头(Dual Head)激光切割系统,显著提升了切割速度

    • WLP设备:开发了WLP Pick & Placement处理设备,并最终实现了与晶圆切割(Wafer Sawing)的流水线一体化(Inline)系统,极大缩短了工艺流程并提高了生产能力

    • 多封装处理技术(CSP、内存卡、WLP)

    • 高速线性电机及高精度多轴同步控制算法

视频来自:京创先进官网