大面积600mm面板级(Panel Level Package, PLP)的高集异质复合封装工艺及关键封装系统,以克服传统晶圆级封装(WLP)在尺寸扩展、物流运输和芯片排列等方面的局限性,降低生产成本并提高产品竞争力 。
封装系统研发:包括大面积面板用自动Laminator & Bonder、Detach Core分离用去键合机(De-bonder)、后固化设备及Die Pick & Place)设备在内的完整封装系统 。
工艺与材料开发:薄膜型封装(Encapsulation)材料,并通过模拟技术(Simulation)验证了适用于720x600mm FOPLP工艺的Die偏移控制 。
技术:通过整合自动化物流系统和Cluster系统,实现了FOPLP工艺流程的优化与生产效率提升(最终目标达成40/hr)。
大面积封装面临的最核心挑战是Warpage(翘曲)控制、Die Shift(芯片偏移)和封装厚度均匀性。
必须将设备性能与具体材料特性(如封装胶膜的流变性)和工艺步骤(如加压、热固化)进行联合设计(Co-design),而非孤立开发机械结构 。
高精度物料传输(Handling):
在大面积面板传输中,必须具备防污染机制(利用Carrier Film防护)。
采用自动化上下料系统(EFEM集成)以减少人为操作导致的颗粒污染 。
真空热压系统:
关键指标:实现大面积范围内的均匀加压 。
硬件架构:需设计Rubber Chamber(软性缓冲)与Metal Chamber(平坦化)组合,以适应不同封装阶段的需求 。
真空控制:真空度需达到0.8torr以下,且抽气速率直接决定Tact time 。
精度控制与Pick & Place:
Die重排设备需具备极高的对准(Align)精度与视觉系统,确保多芯片排列后的间距要求(需达到<0.2mm甚至更严苛的精度)。