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面板级Panel Level Package封装工艺及封装设备技术开发254页
首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

一、文档主要内容

大面积600mm面板级(Panel Level Package, PLP)的高集异质复合封装工艺及关键封装系统,以克服传统晶圆级封装(WLP)在尺寸扩展、物流运输和芯片排列等方面的局限性,降低生产成本并提高产品竞争力

  • 封装系统研发:包括大面积面板用自动Laminator & Bonder、Detach Core分离用去键合机(De-bonder)、后固化设备及Die Pick & Place)设备在内的完整封装系统

  • 工艺与材料开发:薄膜型封装(Encapsulation)材料,并通过模拟技术(Simulation)验证了适用于720x600mm FOPLP工艺的Die偏移控制

  • 技术:通过整合自动化物流系统和Cluster系统,实现了FOPLP工艺流程的优化与生产效率提升(最终目标达成40/hr)


二、半导体先进封装设备技术

  • 大面积封装面临的最核心挑战是Warpage(翘曲)控制Die Shift(芯片偏移)封装厚度均匀性

  • 必须将设备性能与具体材料特性(如封装胶膜的流变性)和工艺步骤(如加压、热固化)进行联合设计(Co-design),而非孤立开发机械结构

2. 核心系统模块开发要点

  • 高精度物料传输(Handling)

    • 在大面积面板传输中,必须具备防污染机制(利用Carrier Film防护)

    • 采用自动化上下料系统(EFEM集成)以减少人为操作导致的颗粒污染

  • 真空热压系统

    • 关键指标:实现大面积范围内的均匀加压

    • 硬件架构:需设计Rubber Chamber(软性缓冲)与Metal Chamber(平坦化)组合,以适应不同封装阶段的需求

    • 真空控制:真空度需达到0.8torr以下,且抽气速率直接决定Tact time

  • 精度控制与Pick & Place

    • Die重排设备需具备极高的对准(Align)精度与视觉系统,确保多芯片排列后的间距要求(需达到<0.2mm甚至更严苛的精度)