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LED固晶机技术研究 直线式共晶键合设备技术-174页
首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

多工位(2-HEAD)功率半导体制造用固晶机技术核心内容如下:对研究半导体固晶设备。共晶设备十分有价值的一款资料!

1. 项目背景与开发目标

多工位(2-HEAD)的高效固晶设备技术,应用功率半导体的高效、高精度制造 

  • 采用双独立Head作业,通过高精度热压与芯片背面金属化(Back Metal)工艺,在高温环境下完成芯片与引线框架(Lead Frame)的共晶焊接 设备Tact Time达到0.684秒,焊接精度控制在0.017μm,芯片旋转角度精度为0.6°,满足超高精度生产需求

2. 关键核心技术

针对半导体高温封装工艺,:

  • 焊接一致性与氧化控制

    • 采用Forming Gas(92%氮气 + 8%氢气)环境,通过隧道式轨道设计与密封Cover,有效防止高温下金属的氧化

    • 针对Solder Dotting工艺,开发了Wire焊料供给系统,通过精确控制步进电机电流与电压,确保焊料融化量的一致性

  • 高精度与高稳定性运动控制

    • 独立双Head架构:通过两组独立Head提升生产效率,并采用铸造结构结合振动最小化技术,确保高速运行下的稳定性

    • Voice Coil Motor  应用:在Head单元中引入音圈电机技术,实现高响应速度、平滑的运动控制以及微米级的精密定位,且无Cogging效应,适合精密固晶工艺

  • 热管理技术

    • 设备工作温度需达到350℃以上,设计上重点考虑了高温对Camera的影响,通过前侧Air Blowing散热技术保护光学系统

    • Solder Unit部通过覆盖层(Cover)与气吹(Air Blow)冷却,隔离Feeder产生的高热,确保电机性能

3. 设备整体架构设计技术

设备采用模块化设计,主要结构组成如下:

  • 作业模块:包括Auto Cassette、Wafer Stage(X/Y/Z/T四轴联动)、Transfer、Buffer(双Feeder桥接)、Eject、Head(核心焊接执行)、Solder、Loader/Unloader等核心单元

  • 结构与控制:采用方形钢管构建主体框架,配置Touch Monitor及集成化Main PC,显著减小了整体设备尺寸,方便操作维护