多工位(2-HEAD)功率半导体制造用固晶机技术核心内容如下:对研究半导体固晶设备。共晶设备十分有价值的一款资料!
多工位(2-HEAD)的高效固晶设备技术,应用功率半导体的高效、高精度制造 。
采用双独立Head作业,通过高精度热压与芯片背面金属化(Back Metal)工艺,在高温环境下完成芯片与引线框架(Lead Frame)的共晶焊接 。设备Tact Time达到0.684秒,焊接精度控制在0.017μm,芯片旋转角度精度为0.6°,满足超高精度生产需求 。
针对半导体高温封装工艺,:
焊接一致性与氧化控制:
采用Forming Gas(92%氮气 + 8%氢气)环境,通过隧道式轨道设计与密封Cover,有效防止高温下金属的氧化 。
针对Solder Dotting工艺,开发了Wire焊料供给系统,通过精确控制步进电机电流与电压,确保焊料融化量的一致性 。
高精度与高稳定性运动控制:
独立双Head架构:通过两组独立Head提升生产效率,并采用铸造结构结合振动最小化技术,确保高速运行下的稳定性 。
Voice Coil Motor 应用:在Head单元中引入音圈电机技术,实现高响应速度、平滑的运动控制以及微米级的精密定位,且无Cogging效应,适合精密固晶工艺 。
热管理技术:
设备工作温度需达到350℃以上,设计上重点考虑了高温对Camera的影响,通过前侧Air Blowing散热技术保护光学系统 。
Solder Unit部通过覆盖层(Cover)与气吹(Air Blow)冷却,隔离Feeder产生的高热,确保电机性能 。
设备采用模块化设计,主要结构组成如下:
作业模块:包括Auto Cassette、Wafer Stage(X/Y/Z/T四轴联动)、Transfer、Buffer(双Feeder桥接)、Eject、Head(核心焊接执行)、Solder、Loader/Unloader等核心单元 。
结构与控制:采用方形钢管构建主体框架,配置Touch Monitor及集成化Main PC,显著减小了整体设备尺寸,方便操作维护 。