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SCREEN单片式湿法清洗一些技术资料
首页 >半导体设备资料 >晶圆处理:清洗-研磨-减薄 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [获取免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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图纸预览图
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资料描述

分两大产品线:

SU 单晶圆化学清洗、SS 旋转刷洗清洗,覆盖 200/300mm,适配逻辑、存储、3D NAND、SiC/GaN、CMP 后清洗、EUV 前道精密清洗。

SS 系列(Spin Scrubber 旋转刷洗物理清洗)

SCREEN Semiconductor Solutions,业内简称SCREEN,全球单片式湿法清洗设备双寡头之一,同时布局涂胶显影 Track、量测、先进封装面板涂覆,湿法清洗市占约 30%,仅次于 TEL 东京电子。