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分两大产品线:
SU 单晶圆化学清洗、SS 旋转刷洗清洗,覆盖 200/300mm,适配逻辑、存储、3D NAND、SiC/GaN、CMP 后清洗、EUV 前道精密清洗。
SS 系列(Spin Scrubber 旋转刷洗物理清洗)
SCREEN Semiconductor Solutions,业内简称SCREEN,全球单片式湿法清洗设备双寡头之一,同时布局涂胶显影 Track、量测、先进封装面板涂覆,湿法清洗市占约 30%,仅次于 TEL 东京电子。