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大尺寸等离子体干法刻蚀设备与先进制造工艺的技术培训和技术开发
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2026-06-26
半导体等离子体工艺设备智能化技术开发与实证与先进等离子体工艺的技术培训-183页
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2026-06-26
干式清洗技术培训-基于超微细图案
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2026-06-26
半导体超薄基板真空压膜机开发技术-100页
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2026-06-26
245页PECVD ACL设备开发技术-20nm级晶圆制程
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2026-06-26
溅射设备的开发技术资料-88页
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2026-06-26
半导体清洗设备整机开发技术
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半导体晶圆清洗设备:单片式晶圆清洗设备工艺腔室研发技术67页
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2026-06-25
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2026-06-25
晶圆干法去胶与湿法清洗多腔体一体化设备的深入开发资料-90页
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2026-06-25
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