搭载于 Applied Materials AKT New Aristo 2200M VR 设备的基板枢轴旋转单元（基板对准·旋转模块）。在 Gen8.5 玻璃基板（2200×2500mm）垂直搬送前，负责基板角度对准及 90°枢轴旋转的核心子系统。
AMK 55K 枢轴系统是位于 New Aristo 2200M VR 的装载锁（Loadlock）前端的一台基板搬运单元，是一种吸附固定所传送来的大型玻璃基板，并按指定角度进行旋转、对准的装置。
名称含义：55K = 55000N 级负载应对设计（Gen8.5 大型玻璃重量支撑）
主要目的：以基板缺口/边缘为基准进行基板 Orientation 对齐，90°枢轴旋转
适用设备：AMAT AKT New Aristo 2200M VR（立式 PVD）
运行环境：大气环境（Load Lock 外部大气处理腔室）
枢轴框架（Pivot Frame）
高强度铝焊接框架，整机底座结构
安装用于减少振动的防振支架，阻断 PVD 设备主体的振动传递
旋转执行器单元 (Rotary Actuator)
高扭矩伺服电机 + 减速器组合，精密角度控制
通过编码器反馈确保±0.01°级旋转精度
真空吸盘
多区域真空吸附垫，均匀吸附大面积玻璃
基板弯曲补偿结构，防止基板破损
顶升销总成（Lift Pin Assembly）
基板装载/卸载时上下移动，将基板安放于卡盘上并分离
引脚高度同步控制，最小化基板冲击
边缘传感器 / 刘海传感器（Edge & Notch Sensor）
用光学传感器检测基板边缘、缺口位置 → 计算基板角度偏移
用于枢轴旋转角度校正
导向件与限位器(Guide & Stopper)
用于基板预对准的机械式限位器，起预对准作用
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 适用基板 | Gen8.5 2200×2500mm 玻璃基板 |
| 最大旋转角度 | 0 ~ 360°（主要用途：90° 旋转） |
| 角度重复精度 | ±0.01° |
| 最大装载重量 | 55K（55,000N）级设计 |
| 驱动方式 | 伺服电机 + 高减速比减速机 |
| 基板固定方式 | 多区域真空吸盘 |
| 运营环境 | 等待，100 级洁净室 |
