中小世代 OLED 面板量产 / 中试线，主打FMM 精细金属掩膜 RGB 像素蒸镀（手机 / 穿戴小尺寸 OLED），2010 年代主力机型，国内多条 G4.5 OLED 产线都导入该机型爱发科商贸...。
集群式的核心优势：基板全程不破真空在腔室之间传输，避免水汽、氧气污染 OLED 有机层。 标准腔室配置：
Load-Lock 装载 / 卸载腔：大气进片，预抽真空，隔绝外界水汽；一般双 Loadlock，提升节拍
中央传输腔（Transfer Chamber）：真空机械手，负责基板在各工艺腔之间搬运
有机蒸镀腔（Organic Depo Chamber）✅ 就是安装 MH16-9394-0 蒸发源总成的腔体
腔体底部：HE5583-450B 转轮多坩埚蒸发源本体（リボルバー蒸発源）
蒸发源上方：HE5243-191D FMM 长条快门组件（有機室蒸発源シャッタ組立図）
腔上部：FMM 掩膜版贴合机构 + 基板载台，基板横向扫过蒸发源，完成 RGB 像素成膜
单台机可配置 2~4 个独立有机蒸镀腔，分别蒸镀 HIL/HTL/EML/ETL 等有机功能层
金属阴极蒸镀腔：EB 电子束蒸发，蒸镀 Al / MgAg 金属阴极
可选：预处理腔、加热除气腔
主泵：低温冷凝泵（Cryo Pump），高真空、低出气，适合有机小分子蒸镀；
工作真空度：1×10⁻⁶ Pa 级别；
真空监测：ULVAC Qulee 系列残余气体分析仪 RGA，监控水、氧、有机杂质。
