Singulus 是德国真空镀膜设备厂商，主打磁控溅射 PVD，产品线分三大平台，覆盖半导体、光伏、燃料电池双极板、装饰镀膜等场景，全球已交付 > 8500 台溅射设备SINGULUS T...。核心是模块化磁控溅射 PVD，支持 DC / 脉冲 DC/RF 溅射、反应溅射、双面镀膜。
应用：HJT 异质结光伏电池、燃料电池双极板、电解槽、玻璃 / 大基板 TCO、金属层沉积SINGULUS T...
型号：GENERIS 750S（小产能）/1250M /1800L（超大基板）
特色：在线连续真空、无破真空双面溅射；自研旋转圆柱磁控管，靶材利用率高；载具传输，可处理 G12 硅片、薄基板 (低至 60μm)
可镀材料：ITO/AZO/NiO/TiO₂（TCO / 反应溅射）；Ag/Cu/Mo/Cr/Ni 金属层
节拍：40–75 s / 载具；支持研发样机→中试→量产线扩容
应用：半导体、传感器、存储，极薄纳米膜堆叠（最薄可达 0.2 nm）SINGULUS T...
200/300mm 晶圆兼容，支持 SECS/GEM、APC 先进工艺控制
模块化工艺腔：MTM 多靶、FTM 四靶、PCM 预清洗、OPM 氧化、RSM 基板旋转模块等
工艺：DC / 脉冲 DC/RF 溅射、共溅射；专利 LDD 线性动态沉积，膜厚控制精度 0.01nm 级别；用于金属栅、阻挡层、接触层、多层纳米薄膜
应用：塑料 3D 件（汽车按键、化妆品外壳）替代六价铬电镀，环保装饰金属化SINGULUS T...
3D 工件旋转溅射，高产能；节拍最低 6s / 载具
自研圆柱旋转磁控管：靶材利用率远高于平面靶，降低耗材成本
模块化腔体架构，工艺模块按需增减
基板加热、原位预处理清洗；支持单面 / 双面镀膜
全类型磁控溅射模式：DC、脉冲 DC、双极、RF、反应溅射
| 平台 | 架构 | 核心市场 | 基板类型 |
|---|---|---|---|
| GENERIS PVD | Inline 在线 | HJT 光伏、燃料电池双极板 | 大玻璃、硅片、金属薄板 |
| TIMARIS PVD | Cluster 集群 | 半导体、传感器、存储 | 200/300mm 晶圆 |
| POLYCOATER PVD | Inline 在线 | 汽车 / 消费件装饰镀膜 | 3D 塑料件 |
Singulus：强项大基板在线 PVD（HJT / 燃料电池双极板），TIMARIS 做半导体纳米膜；
Applied Materials / Tokyo Electron：半导体晶圆 cluster PVD 龙头；
Von Ardenne：同样大基板在线溅射，光伏 / 显示领域直接竞品。
