登录/注册
快速上传
我的收藏
这是半导体基板用的等离子清洗设备图纸，包括自动上下料，传输装置，等离子清洗装置！对标业界松下和诺信机台，结构和诺信的一样！非常有参考价值！
等离子体腔室技术相比传统批量式等离子清洗系统，能提供更优异的蚀刻均匀性。通过氩等离子体处理，超薄镀金电极可实现更可靠的引线键合，且无需使用镍化合物。
功能包括：氧等离子体表面改性 提升模具树脂附着力与底部填充润湿性 降低剥离、气孔和裂纹发生率。
等离子监测系统可抑制异常放电，确保生产过程安全高效，其可选的可追溯功能更实现了全流程的精准追踪。
半导体基板等离子清洗机.stp
1_hhh_asm_19.asm.1
d5_gb859_hhh_19.prt.1