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先进封装设备Nucleus混合键合测试技术资料
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资料描述

Nucleus 系列是一个高精度、多用途的先进封装贴片与重组平台。专为大规模、多品种的先进封装制造而设计。

  • 核心特点:支持 Face-up(正装)和 Face-down(倒装)模式,具备局域和全局对准能力;支持自动换刀系统以实现多芯片混合贴装;具备良好的洁净度标准(Class 100)。

  • 基板适应性:支持晶圆、Wafer on Carrier、Substrate on Carrier以及大尺寸面板级封装的载具。

Nucleus 主要应用于先进封装领域,具体涵盖:

  1. Fan-out(扇出型封装,含 WLP 和 PLP):用于将裸芯片高精度地重组到载板或面板上。

  2. 2.5D 封装与异构集成:处理多芯片的高精度贴装。

  3. Embedded Packaging:将芯片埋入基板型腔内部的工艺。

  4. 常规倒装芯片与直接芯片贴装:支持伴随 Flux Dipping的热力学辅助贴装工艺。(TCB键合)