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Nucleus是一款全自动多功能倒装芯片键合机,可处理最大12英寸的晶圆。该设备在处理各种尺寸芯片和不同键合工艺的基板时具有极高的灵活性,支持局部和全局对准键合,适用于芯片面朝上或面朝下的应用。Nucleus采用双头系统,配备加热键合头、加热键合平台、高精度拾取放置系统以及高速EaglePRS检测系统,以满足先进封装的工艺要求。