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ASM NUCLEUS混合键合设备操作手册164页
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资料描述

ASMPT NUCLEUS 系列是一种多用途、高精度的拾放和键合平台,专为高级半导体封装设计。该平台被广泛应用于半导体制造过程中的各种场景中,支持复杂的异构集成架构,包括 2.5D 集成、扇区级晶圆封装以及嵌入式芯片应用等。

核心架构特性


  • 灵活的放置模式:支持正面朝上和正面朝下的安装方式,配备先进的局部和全局对准光学系统。  


  • 工艺多样性:能够处理倒装芯片焊接、直接芯片连接以及精密热浸焊等基于焊料或热压的封装工艺。  


  • 基材兼容性:能够轻松处理各种基材格式,包括裸露的晶圆基板、载板上放置的晶圆,以及贴在胶带或载板框架上的基材。  


  • 热性能与连接强度:专为满足复杂连接结构所需的高热性能及高强度连接要求而设计。  


  • 自动化与工具化:具备多芯片键合能力,并配有自动换模系统,从而在多芯片组装过程中最小化停机时间。  


  • 洁净室标准:在焊接过程中,需遵循严格的 100 级洁净室标准。  

主要专业配置


  • NUCLEUS XD:专为处理特大规格的芯片而设计,能够容纳最大达  $70\,\text{mm} \times 70\,\text{mm}$ 的芯片尺寸。  


  • NUCLEUS XLplus:专为处理超大尺寸基板而设计,能够支持最大达  $600\,\text{mm} \times 670\,\text{mm}$ 的基板尺寸。因此,它非常适合用于面板级封装(PLP)以及大型矩形基板的封装工作。