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晶圆级大批量测试现存难点光子测试和传统半导体芯片测试差异大,不能简单在半导体设备加装光学探针:
探头(探针头):需要光电混合探头,光学探针定位精度要求达 0.1μm,还要解决预对准、并行测试难题;
仪器仪表:摒弃传统堆叠式仪器,推行 PXI 等模块化标准,需要开发光电子专用测试模块,区分研发表征和量产通断测试;
运动机械机构:依靠 Hexapod 六自由度平台实现高精度多自由度对准,核心追求测试速度;
还涉及晶圆自动上下料、老化测试对接、混合器件晶圆级组装测试等现实难题。