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OLED 与 8代线需求：OLED（有机发光二极管）作为自发光显示技术，具有高响应速度、广视角和高画质等优点，正逐步向大尺寸 TV 领域拓展。为实现 40 英寸以上大尺寸 AMOLED 的量产，行业亟需稳定且具备大批量生产能力的 8代线（2,200mm × 2,500mm） 基板及相关沉积设备技术。
OLED 制造的核心在于真空热蒸发沉积系统（有机/金属蒸发源、In-Line 沉积系统等）。由于大面积下厚度均匀性、材料利用率和连续运行时间等要求极高，本项目的核心目标就是攻克 8G 级 OLED 沉积系统的成套技术。
8G 级有机/金属蒸发沉积系统及 8G 主体（Host）用有机蒸发源。
实现了最大100mm 的托盘（Tray）恒速传输速度，真空度达到 $5 \times 10^{-7}\text{ torr}$。
开发了可重新填充有机材料的蒸发源结构，并在小尺寸区域验证了 $\le \pm 3\%$ 的有机膜厚度均匀性。
开发了 8G 级金属蒸发源及掺杂剂（Dopant）用有机蒸发源。
实现了金属膜厚度均匀性 $\le 5\%$，并完成了共蒸发（Host + Dopant）状态下的均匀性与速度控制验证。
针对 8G 全尺寸（$2,200\text{mm} \times 2,500\text{mm}$）基板进行了共蒸发均匀性测试（达成 $\le \pm 3\%$）。
成功开发了基板支撑静电卡盘（ESC, Electrostatic Chuck），其变形量保持在 $2\text{mm}$ 以下，卡盘夹持可维持 24 小时以上。
开发了金属材料自动供给装置，确保了金属源的稳定连续供给。
完成了各项量产验证，包括 14 天以上的连续不间断运行、有机材料使用效率（达到 71.3%，超出 60% 的目标）以及 Tact Time 缩短至 $77\text{ 秒}$。
进行了 OLED 器件（Layer 别）的实际点亮与电学/光学性能评估，证明了所制备器件与委托机构制作的器件无显著差异（差异在 $\pm 5\%$ 范围内）。
8G 级 In-Line 沉积系统架构：优化了内部容积和抽气系统（Cryo Pump + 协同 Dry/Booster 泵），各主要腔体均在 24 小时内达到低于目标值的超高真空状态。
大面积线性蒸发源（Linear Source）与喷嘴优化：通过对 2700mm 级喷嘴阵列的组合与微调，确保了超大面积基板移动扫描时的膜厚均匀性（达到约 $\pm 1.88\% \sim \pm 1.96\%$）。
防热辐射与防变性设计：在蒸发源周围引入冷却模块（Cooling Block）及可移动加热器（Moving Heater），有效防止了有机材料因长期受热而变性，同时利用热仿真减小了基板的温升（$\Delta T \approx 2.5^\circ\text{C}$）。
金属源自动供给与遮挡（Chopper）机构：解决了高溫金属蒸发源寿命短、需频繁补料的痛点，通过精密的晶振传感器（QCM）寿命管理和自动送料机构，顺利完成了 2 周的连续稳定运行。
