随着电视分辨率提升（如 8K 等）以及大尺寸化趋势的发展（需要建设 10.5 条以上生产线），人们迫切需要新的工艺设备来突破传统高成本机器人搬运玻璃的局限性，同时尽可能减少玻璃的变形和扭曲现象。 因此，人们需要一种能够克服现有高成本机器人搬运玻璃方式所存在的缺陷的新工艺设备。
核心概念：传统的空气悬浮方式容易受到温度变化的影响，因此难以应用于潮湿或高温的工艺过程中（如涂层、干燥等）。而在本项目中，我们采用了非接触式精密超声波悬浮技术，从而实现了无需使用机器人进行物料搬运，可以直接对基板进行传送和涂层处理。这是一种基于在线连续工艺的解决方案 。
开发了一种采用精密超声波定位模块的连续传输型显示用套片设备
10.5 款适用于多代系的高响应性光阻式定量输出泵头，精密切割喷嘴，以及喷嘴清洗模块的开发
精密超声波发射器模块的设计与制造——包括声子棒、执行器、支撑装置等部件的研发
开发多通道超声波液位模块振动控制系统（20~40kHz 频率，包括阻抗跟踪控制等）
采用精密超声波检测模块的倾斜输送式大尺寸精密温度控制热干燥设备（Hot Plate）的研制
针对干燥过程中产生的 PR 烟雾进行控制，并构建包含三段超声波的干燥系统。
支持对超声波沉积机与炉式设备的设计进行优化，同时提供工艺测试与质量验证服务。
