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海德堡无掩膜激光直写光刻机各种资料汇总
首页 >半导体设备资料 >晶圆制造:光刻-显影-刻蚀-热处理 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
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资料描述

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海德堡仪器是高精度激光光刻系统、无掩模对准系统和纳米制造工具领域的全球领导者。

40年来,我们一直推动微纳米制造领域的创新,在全球安装了超过1,500台系统。我们理解每位客户的需求都是独特的,因此提供定制化光刻解决方案,即使是最具挑战性的应用也能满足。

我们的产品组合涵盖从紧凑型桌面系统(非常适合原型开发和研发)到为大批量工业生产设计的高端光掩膜制造设备。这种广度使我们能够支持多种表面结构化技术,包括精确的二维图案设计以及利用灰度光刻实现的复杂2.5D特征。

我们对客户成功的承诺不仅体现在产品本身。在德国、瑞士和中国的工艺与应用实验室(PAL)中,我们的专家工程师与客户紧密合作,提供全面的培训与支持,确保他们充分发挥 Heidelberg Instruments 设备的最大潜力。

全球领先的公司、顶尖大学和知名研究机构都依赖于我们系统的灵活性和先进功能,以实现微型和纳米图案化。我们的技术为各个领域带来了突破,包括微光学和微系统技术、光子学、电子学、半导体和先进封装、量子器件、微机电系统、纳米流体学、生物医学工程、二维材料等。