图纸上传
资料上传
登录/注册
我的收藏
本资料22页,硬核资料请慎用!针对采用TSV芯片(带锡帽的铜柱凸点)及基板上的铜焊盘进行的热压键合工艺进行了分析。在热压键合前,已预先在基板铜焊盘上涂覆p Flux助焊剂;在热压过程中,芯片焊盘上的焊料通过加热的键合头进行回流焊接。将5个TSV芯片堆叠在一起。