客服
TCB热压键合工艺分析基于TSV堆叠芯片5层堆叠
首页 >半导体设备资料 >先进封装:固晶-焊线-TCB-HB 2024-01-31 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持! [上传图纸即可免费下载] 觉得本站不错记得分享给好友哦! 0
30
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
图纸预览图
资料描述

本资料22页,硬核资料请慎用!针对采用TSV芯片(带锡帽的铜柱凸点)及基板上的铜焊盘进行的热压键合工艺进行了分析。在热压键合前,已预先在基板铜焊盘上涂覆p Flux助焊剂;在热压过程中,芯片焊盘上的焊料通过加热的键合头进行回流焊接。将5个TSV芯片堆叠在一起。