中文字，很有深度的一份配方资料！
Camtek Eagle系列（如Eagle-i和Eagle-i Plus）专为大批量2D晶圆表面检测设计，其2D配方（Recipe）的设置过程与特点如下：
基于CAD文件的导入与比对： 在建立配方时，系统支持直接导入Die、Reticle、Wafer或Panel级别的CAD文件（如GDSII格式），将其作为理想的晶圆设计基准进行参数比对 。
高灵敏度检测参数设定： 2D配方可以设置亚微米级的表面测量标准，实现低至0.2μm的极高分辨率缺陷检测
基于规则的模板匹配（Rule-based Template Matching）： 系统的缺陷识别主要依赖于配方中设置的规则和模板匹配机制
人工调试（Manual Tuning）需求： 由于其底层依赖规则匹配，当晶圆制程中的缺陷模式（Defect Modes）发生偏移或变化时，操作人员需要对配方进行较多的人工参数微调，以维持检测的准确性并控制误报率
