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这份文档来自荷兰的代尔夫特设计指南,侧重产品设计!不过对于机械设计的从事半导体设备研发的有部分帮助,可以学习它的设计思路、严谨性、系统化的工程设计与问题分析方法!一共177页!十分精华,已被我中文译文过来, 不会英文的也可以学习!