晶圆双臂搬运机械臂图纸包括;3D图纸和2D图纸，赠送100页左右详细手册一份！非常有价值！图纸可以编辑有参考，有所有细节设计！
2. 高精度定位与运动控制，重复定位精度：大气环境±0.1mm，真空环境可达 ±0.02mm。S 曲线加减速平稳启停，避免晶圆滑移、碰撞。
3. 高洁净与环境适配，Class 1–5 级洁净室兼容，颗粒污染极低（<0.1μm 颗粒≤1 颗 /ft³）。
4. 多类型末端执行器（柔性抓取）
EFEM（设备前端模块）：晶圆盒 ↔ 工艺设备（CVD/PVD/ 蚀刻 / 光刻 / 离子注入）之间的高速传输。
多腔室集群工具：在真空 / 大气腔室间快速切换，双臂并行提升产能。
晶圆检测：AOI 缺陷检测、膜厚 / 翘曲量测、电性测试的自动上下料。
晶圆双臂搬运机械臂.stp
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