图纸STP格式!对研发学习改进都非常有价值!采用经典的卷带式推入机构,弹夹上下料设计
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高速半导体上下料点胶机,就是把「自动上下料 + 高速精密点胶 + 视觉定位 + 百级洁净 + ESD 防护」做在一起的封装设备,主打FC/BGA 底部填充、围坝(Dam & Fill)、芯片包封、固晶胶点涂,在你产线里是分选→研磨→点胶→贴片这一环。
工序位置:晶圆切割→分选(NST620)→玻璃研磨→点胶(Underfill / 围坝)→固晶 / 贴片
核心工艺:
底部填充(Underfill):FC/BGA/CSP,芯片与基板间隙填胶,强化焊点、防潮防振
围坝填充(Dam & Fill):大尺寸芯片 / 模组,先围坝再填充,防止溢胶
固晶胶(Die Attach):芯片背面点导热 / 导电胶,贴到基板 / 框架
包封 / 涂覆(Coating):引脚、焊点、MEMS 腔体贴胶保护
适用产品:2.5D/3D IC、Fan‑Out、WLCSP、SiP、功率器件(IGBT/SiC)、摄像头 / 指纹模组
自动上下料模组
形式:料盒(Magazine)/ 托盘(Tray)/ 轨道(Inline)
双仓 / 弹仓设计:不停机换料,兼容 8/12 寸晶圆、基板、框架
功能:自动上料→定位→预热→点胶→下料→收料,对接 MES
高速运动平台
驱动:直线电机 + 光栅尺,重复精度 **±2~±5μm**
速度:1000~1500mm/s,加速度1.2~1.5G
结构:一体铸造 / 矿物铸件,吸震好、长期稳定
点胶阀体(核心)
压电喷射阀(非接触):最高1000 点 / 秒,最小胶点0.15mm,胶量2~50nl,适合 Underfill / 围坝
螺杆阀(接触 / 微量):胶量波动 **±1%**,适合高粘度 / 导热膏
可选双阀 / 多阀:并行作业,产能翻倍
视觉与检测
上视 CCD:定位精度 ±3μm,模板匹配 / 灰度识别
激光测高:Z 向校正,保证胶高一致性
胶路 / 胶宽检测:缺胶 / 溢胶报警,防批量不良
料盒上料→自动取片→视觉定位→点胶
喷射 / 螺杆点胶(围坝→填充 / 底部填充)
激光测高 + 胶宽检测→OK/NG 判定
良品下料至收料盒,NG 品分流
数据上传 MES,全程追溯
加工尺寸:50×50mm ~ 300×300mm(兼容 8/12 寸)
点胶精度:位置 ±3μm,胶量 ±1~±2%
最小胶点:0.15mm(喷射)
产能:800~2000 片 / 小时(视产品与阀数)
适用胶水:Underfill(低粘度)、围坝胶(高粘度)、导热膏、UV 胶、环氧胶
洁净 / ESD:百级、ESD 防静电
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| 1 | 39.68M | |
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