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半导体基板全自动等离子清洗机
首页 >半导体设备图纸 >晶圆处理:清洗-研磨-减薄 2026-05-05 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
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图纸描述

X-T格式任何软件都可以打开,赠送大量资料,包括设备手册 结构手册等!十分有价值!包括上下料机构和传输轨道机构,等离子设备等!

半导体基板等离子清洗机是半导体制造与封装的干式精密表面处理设备,核心用于基板 / 晶圆原子级清洁、表面活化与微量刻蚀,替代传统湿法清洗,保障后续键合、镀膜、封装良率(可达 99.5%+)。

  • 晶圆制造:光刻前去颗粒 / 有机物;刻蚀后去胶;沉积前活化表面。

  • 先进封装

    • 引线键合前:清洁焊盘氧化层,提高键合良率

    • 芯片贴装前:活化基板,增强银胶附着力、节省胶量

    • 塑封前:去除微量污染,减少分层风险

    • BGA/2.5D/3D 封装:微凸点 / TSV 孔清洁,提升互连可靠性

  • OLED / 显示:ITO 基板清洗、蒸镀前脱气,提升膜层附着力



下载需要49金币 推广可免费下载
图纸信息
图纸ID :162
文件大小:175.11M
所需金币:49
图纸参数:可编辑,不包含特征参数
图纸格式:x_t
软件版本:2020
作者
用户XY0cKu
已分享: 104 份作品
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文件列表
# 文件名称 大小
1 软件图标9 PLASMA/DaFCGXvLYsw_1920x1080_h264.mp4 35.55M
2 软件图标9 PLASMA/Fiscione-M1070-user-manual.pdf 1.38M
3 软件图标9 PLASMA/Manual for Giga690.pdf 3.06M
4 软件图标9 PLASMA/Panasonic Plasma Cleaning 8 Seiten DIN A4 online 01.pdf 1.69M
5 软件图标9 PLASMA/Plasma Training.pdf 1.93M
6 软件图标9 PLASMA/PVA plasma Application.pdf 640.54K
7 软件图标9 PLASMA/半导体等离子工艺和材料处理系统FlexTRAK OH Material Handler Manual.pdf 34.09M
8 软件图标9 PLASMA/半导体设备图纸更多下载www.semimodel.com - 副本.pdf 290.75K
9 软件图标9 PLASMA/射频等离子工艺气体化学成分NordsonElectronicsSolutions-CopperLeadFrame-Plasma-OxideRemoval-2022_ZH (2).pdf 723.43K
10 软件图标9 PLASMA/弹夹到弹夹FlexTRAK-SHS-SO Magazine to Magazine Strip Handling System .pdf 26.94M
11 软件图标9 PLASMA/弹夹到弹夹新款FlexTRAK SHS Strip Handling System Manual.pdf 25.57M
12 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/1532006396.pdf 4.75M
13 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/AGGTNJOB-PDF-762946-620363-1-PDF.pdf 2.37M
14 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/Evaluation_of_the_sensitivity_of_electro-acoustic_measurements_for_process_monitoring_and_control_of_an_atmospheric_pressure_plasma_jet_system.pdf 1.82M
15 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/glmmus17-d1-0500-andy-stecher-enhancing-material-bonding.11373.pdf 6.88M
16 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/P03_Frezza_PLASMATREAT.pdf 1.37M
17 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/PlasmaTreat_PlasmaPlusSurfaceTreatment.pdf 4.92M
18 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子/PPDE2060-ELECTRONICS1.pdf 4.8M
19 软件图标9 PLASMA/电子回旋共振等离子体技术.pdf 329.16K
20 软件图标9 PLASMA/离子清洗机.x_t 139.65M
21 软件图标9 PLASMA/日本plasmatreat 等离子 0B
22 软件图标9 PLASMA 0B
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